マイクロ レンズ アレイ。 WO2012023402A1

マイクロレンズアレイ総合カタログ 製品カタログ

エッチング工程は、ラジアルラインスロットアンテナを用いて処理を行う工程であってもよい。 lenses or prisms• ランダム配列• 今後の期待 本研究で開発したガラス微小ドーム構造の作製手法は、短時間に高精度かつ簡便に大量生産できるという利点があります。 また、行列状に形成された複数のマイクロレンズ65a~65dは、行方向および列方向にそれぞれ隣接している。 キヤノン:キヤノンCMOSセンサーの世界 一般に、高画素化などで画素サイズが小さくなると、感度の低下やダイナミックレンジの悪化を招いてしまいます。 次に、この発明の一実施形態に係るマイクロレンズアレイの製造方法で製造したマイクロレンズアレイの特性について説明する。

Next

WO2012023402A1

000 description 1• B29— WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL• ここで、4つの行列方向に隣り合うマイクロレンズ65a~65dにおいて、4つのマイクロレンズ65a~65dの間には、平らな領域68が残っている。 エッチング処理が行われた後のマイクロレンズアレイの一部を示す概略断面図である。 これは低ISO側の出力レンジの拡大をもたらし、高感度化と相まって幅広いISO感度設定へと結びついています。 さらに各機でZ軸(上下)への搭載も実現としました OP。 B— PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING• また、処理容器内の圧力を100mTorrとした場合は、混合ガスのガス流量比率をCF 4/C 4F 8/Ar=120/120/300、マイクロ波電力を3000W、バイアス電力を200W、センターガス供給部32とアウターガス供給部35との流量比を5/95としている。 仕様例 ピッチ20umマイクロレンズアレイ キーワード レンズ充填率100%、表裏両面加工、石英マイクロレンズアレイ• また、堆積性ガスとしては、その構造式がCx 1Fy 1(x 1、y 1はいずれも2以上の整数)で表されるガス、およびその構造式がCHx 2Fy 2(x 2、y 2はいずれも1以上の整数)で表されるガスからなる群のうちの少なくとも一種のガスを含むようにすればよい。 一方、マイクロレンズアレイを量産するためには射出成形やプレス成形が効率的であるため、繰り返し使用することができる高精度なマイクロレンズアレイ金型のニーズも高まっています。

Next

吹きガラスの原理でガラス製微小レンズを開発

また、図12より、マイクロレンズの外観形状についても、滑らかな曲面で連なった形状のものが得られる。 ガラスで作製されていることからレンズとしても長期安定性に優れており、本研究で行ったような極端条件下での使用のほか、多様な工業用途にも向いているといえます。 【基本仕様】 ・ 材質:フューズドシリカ、光学ガラス、プラスチック ・ 波長範囲:193nm ~ 3. 両面のマイクロレンズアレイが可能• 温度変化による機械姿勢や軸の変化を徹底的に抑制。 整然と並んでいる微小物質には様々なものが考えられますが、 生物学的な実験においては核酸、ペプチド、抗体などを用いるのが一般的です。 図14を参照して、上記したように、マイクロレンズアレイ素材101は、下層から順にシリコン層102、カラーフィルタ層103、有機膜層104、およびレジスト層105が形成されている。 2016年11月には、光学エンジンのマイクロディスプレイにエプソン独自開発のシリコンOLED(Organic Light Emitting Diode:有機EL)ディスプレイを採用した「MOVERIO BT-300」を発売。 000 title description 11• したがって、得られたマイクロレンズの集光度を向上させることができる。

Next

スマホの画質を劇的に変化させるかもしれないカメラアレイ、マイクロレンズアレイとは

また、図8における水平方向で示される列方向、すなわち、図8中の矢印L 2で示す方向またはその逆の方向に隣り合うマイクロレンズ65a、65d同士の上下方向に延びる壁部67a、67dのうち、上下方向の中央部は隣り合うマイクロレンズ65d、65aの壁部67d、67aとそれぞれ接触した状態であり、上下方向の端部は、隣り合うマイクロレンズ65d、65aの壁部67d、67aとそれぞれ離れた状態である。 Ta(タンタル)、hp80nm• その構造式がCx 1Fy 1(x 1、y 1はいずれも2以上の整数)で表されるガスとしては、例えば、C 4F 8、C 5F 8、C 4F 6、C 3F 6、C 2F 6、C 3F 8等が挙げられる。 メニスカスレンズ レンズの片面が凸、もう片面が凹になったレンズ。 図10は、印加するバイアスの電圧のVppとマイクロレンズの高さとの関係を示すグラフである。 誘電体窓21は、誘電体で構成されており、誘電体窓21の具体的な材質としては、石英やアルミナ等が挙げられる。 KrF(フッ化クリプトン)エキシマレーザー搭載のキヤノン製スキャナーにより、最小ステップ幅75ナノメートル、ステップ段差160nmの4段、最大深さ480nm以上の一方向階段形状を加工できます。

Next

マイクロレンズアレイ総合カタログ 製品カタログ

スロットアンテナ板20の板厚方向の両面は、それぞれ平らである。 シェーパー加工を用いることにより加工の高速化とコスト低減、および大面積加工への対応を可能としました。 新たに開発された工具旋回軸(B、C2)にて、同時6軸制御を可能にしました OP)。 研究チーム 理化学研究所 生命機能科学研究センター 集積バイオデバイス研究チーム チームリーダー 田中 陽(たなか よう) 大学院生リサーチ・アソシエイト アイサン・ユスフ(Aishan Yusufu) 客員研究員 ヤリクン・ヤシャイラ(Yalikun Yaxiaer) (奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学領域 准教授) 技師 天谷 諭(あまや さとし) 研修生 シン・キゴウ(Shen Yigang) 研究支援 本研究の一部は、日本学術振興会(JSPS)科学研究費補助金新学術領域研究(研究領域提案型 「オジギソウ搭載型植物機能利用スマートマシーン創発(研究代表者:田中陽)」、東電記念財団、天田財団、日本板硝子材料工学助成会による支援を受けて行われました。 各セルには同一のDNAプローブが固定化されており、それぞれのセル上にあるDNAプローブが解析したい遺伝子に対応しています。 マイクロアレイの製造技術 弊社は、半導体の製造技術に使われているフォトリソグラフィー技術と、コンビナトリアル・ケミストリーを融合させることにより、超高密度なマイクロアレイ製造技術を確立しました。 マイクロアレイ上のセルの数を フィーチャーサイズと呼んでおり、この数が多ければ多いほど多数の遺伝子やエクソンを解析できます。

Next

マイクロディスプレイ技術|ビジュアルイノベーション|イノベーションを支える技術|技術・イノベーション|エプソン

電話番号として認識できません。 229920000642 polymers Polymers 0. そして、さらにその上に、マスク層としての断面矩形状のレジスト層を形成する。 両凸レンズ 両面とも外側に向かって膨らんだ曲面を持つレンズ。 。 これにより集光効率が飛躍的に向上し、高ISO側の出力レンジ拡大を実現しました。 まず、シリコン基板の上に、カラーフィルタ層を形成し、その上にマイクロレンズの素材となる有機膜層を形成する。 非接触の案内面を使用しているため、長期にわたる使用においても精度劣化が極小です。

Next

事例:マイクロレンズアレイの製作とUV

この場合、マイクロレンズの高さは、上記した図13に示す場合よりも低いが、上記した図11に示す場合よりも高いものとなる。 集光目的としては、イメージセンサーとともに使用されることが多くあります。 弊社のマイクロアレイは、高度にコントロールされた製造プロセスにより、ロットごとのマーカーの欠落がなく、常に高い精度と再現性が確保されています。 センサーの表面には、一つひとつの画素に対応するマイクロレンズが並んでいます。 11 プラズマ処理装置、12 処理容器、13 ガス供給部、14 保持台、15 マイクロ波発生器、16 導波管、17 同軸導波管、18 誘電体板、19,41,42 スロット、20 スロットアンテナ板、21 誘電体窓、22 底部、23 側壁、24 環状部材、25 排気孔、26 Oリング、27 高周波電源、28 マッチングユニット、31,34 ガス供給口、32 センターガス供給部、33 中空状部材、35 アウターガス供給部、36 マイクロ波整合器、37 中心導体、38 外周導体、39 モード変換器、43 スロット対、44 内周側スロット対群、45 外周側スロット対群、46 貫通孔、47 中心、48 下面、49 誘電体窓凹部、51 マイクロレンズアレイ素材、52,62 シリコン基板、53,63 カラーフィルタ層、54,64 有機膜層、55 レジスト層、56,57 上面、58 突出部、61 マイクロレンズアレイ、65a,65b,65c,65d マイクロレンズ、66a,66b,67a,67d,71b,71d 壁部、68 領域、69 端部、70 頂点。 石英基板に直接加工できるため、耐熱性が問題となる高強度レーザー向けの光学部品や、紫外線劣化が問題となる光学部品、またはそれらの型に最適なソリューションです。 さらには、形成されたマイクロレンズの表面の粗さを、滑らかにすることができる。

Next

スマホの画質を劇的に変化させるかもしれないカメラアレイ、マイクロレンズアレイとは

マイクロレンズアレイの製造方法に関する技術が、特開平10-148704号公報(特許文献1)に開示されている。 また、上記の実施の形態においては、レジスト形成工程において、上側から見た場合に略楕円形状となるようレジスト層を形成することとしたが、これに限らず、上側から見た場合に略円形状となるようレジスト層を形成することにしてもよいし、図4等に示す断面において、レジスト層の外形形状が、直線部分を有していてもよいし、角を有していてもよい。 さらに、上記した垂直方向および水平方向については、厳密な方向で垂直および水平を意味しているものではない。 つまり、熱膨張によりレンズの中央部のガラス壁が少し薄くなり、これが上下に二重(図では左右二重)になるため、二重の凹レンズ(正確には凹)になります。 また、その他の処理条件として、処理容器内の圧力を10mTorrとした場合は、混合ガスのガス流量比率をCF 4/C 4F 8=240/60、マイクロ波電力を3000W、バイアス電力を800W、センターガス供給部とアウターガス供給部との流量比を4/96としている。 そのため、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、酸化クロムIII(Cr2O3)など、多様な材料に対応可能なのも特長です。 c 直径をさまざまに変えたドーム構造。

Next